輕負荷維氏硬度試驗原理與維氏硬度計試驗法完全相同，壓頭也是136°的金剛石角錐（有的也帶有172°30′的克努普壓頭），只是試驗機機構與一般維氏試驗機不同。輕負荷維氏硬度試驗多采用直接加荷，并帶有放大倍數較的光學觀察和測量機構。這是因為負荷較輕，壓痕較小，利用光學測量系統可獲得精度的測量結果；同時在選取測量部位時因為有顯微觀察裝置可進行準確的控制。

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